平面研磨机研磨的不平整是什么原因

摘要：平面研磨机有平整的研磨盘，可以对光学玻璃晶片、石英晶片、硅片等进行研磨抛光。使用平面研磨机时，有时会出现研磨不平整，工件出现凹凸面的情况，这可能是研磨盘不平、复杂受力作用影响、没有按照工件被研表面的大小和高度比例来确定运动的速度和方向等原因造成的，可以通过修整研磨盘平面度、采用凸形表面的研磨平板等方法解决。下面一起来了解一下平面研磨机研磨的不平整是什么原因吧。

一、平面研磨机简介

平面研磨机是一种精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于平整的研磨盘上进行研磨处理，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的，广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。

二、平面研磨机研磨的不平整是什么原因

平面研磨机研磨出来的工件应该是平整的，如果研磨后工件出现凹凸面，可能原因有以下几点：

1、研磨盘不平，研磨机对研磨平板的重要作用是研磨平板本身的表面几何形准确地传递给被研磨工件，如果研磨平面不是理想平面，那么被研工件的表面也很难得到高精度平面。

2、受到动力矩、扭转力矩及运动惯性力等复杂受力作用的影响，促成了研磨过程中移动的不平稳性，造成了工件边缘受力重、被磨掉的多，呈现凹状。

3、没有按照工件被研表面的大小和高度比例来确定运动的速度和方向。

4、没有放在工件的中间位置而导致工件强制受力或着力不均。

5、控制环内的工件之间的间隙过小，工件表面的每个点在研磨盘上的摩擦轨迹就会疏密不等，影响密封环的平面度，有时甚至会使工件顶起，造成研磨表面偏斜，导致研磨不平整。

三、平面研磨机研磨不平整怎么办

平面研磨机出现研磨不平整的现象时，要及时处理，以免生产的工件不合格，一般处理方法如下：

1、首先检查研磨盘平面度，研磨盘平面度是研磨的基准，是得到精密工件平面的保证，平面研磨机的研磨盘需定期修整平面，修整的方法有两种：一是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，二是通过修整机构修面。

2、如果是受到动力矩、扭转力矩及运动惯性力等复杂受力作用的影响造成的不平整，则可以采用凸形表面的研磨平板来补偿，不仅可以解决因磨损不均造成的质量问题，也可以使研磨平板寿命得到延长。

3、如果是工件间隙过小引起的，则调整控制环内的工件之间的间隙即可。