专利名称：一种铜锌锡硫薄膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：赖延清,苏正华,孙凯文,刘芳洋,贾明,张治安,刘业翔申请号：CN201110189391.2申请日：20110707公开号：CN102251235A公开日：20111123
摘要：一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，是采用连续离子层吸附反应方法将同一衬底上先后或者交替浸泡在阳离子前驱体溶液与阴离子前驱体溶液中制备出CuSnS薄膜和ZnS薄膜叠层预制层结构或者CuS薄膜和ZnSnS薄膜叠层预制层结构，然后进行热处理得到铜锌锡硫薄膜；所述阳离子前驱体溶液中含有铜、锡、锌离子中的至少一种，所述阴离子前驱体溶液选自硫化钠溶液、硫化钾溶液、硫化氨溶液中的至少一种；所述衬底选自玻璃、PI、不锈钢片、钼片、钛片中的一种。本发明既解决了金属成分难控制的问题，又能阻止铜离子向薄膜表面迁移导致形成硫铜相。工艺方法方法简单适用，成本低廉，适于工业化生产。
申请人：中南大学
地址：410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
国籍：CN
代理机构：长沙市融智专利事务所
代理人：颜勇
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