专利名称：风机过滤单元专利类型：实用新型专利发明人：宋新丰,王丽荣申请号：CN201420013528.8申请日：20140109公开号：CN203641130U公开日：20140611
摘要：本实用新型公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体,所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器,所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔,所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。本实用新型提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。
申请人：北京七星华创电子股份有限公司
地址：100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
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