专利名称：一种表面改性的二氧化硅及含其的磨料组合物专利类型：发明专利
发明人：王溯,蒋闯,马丽,秦长春,章玲然,孙涛,张德贺,寇浩东申请号：CN202110004108.8申请日：20210104公开号：CN112680187A公开日：20210420
摘要：本发明公开了一种表面改性的二氧化硅及含其的磨料组合物。本发明提供了一种表面改性的二氧化硅，其特征在于，其由下述制备方法制备得到：在溶剂中，将二氧化硅与硅烷偶联剂反应，得到表面改性的二氧化硅；所述的硅烷偶联剂为八氨苯基‑POSS和/或八氯丙基‑POSS。所述的表面改性的二氧化硅能极大提高多晶硅相对于硅氮化物的研磨选择性，提升对含Si材料的研磨速率，并且显著提高对钌的研磨速率。
申请人：上海晖研材料科技有限公司
地址：201616 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
国籍：CN
代理机构：上海弼兴律师事务所
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