专利名称：一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系
建立方法
专利类型：发明专利发明人：李国强
申请号：CN201811434371.5申请日：20181128公开号：CN109756203A公开日：20190514
摘要：本发明公开了一种FBAR谐振频率和振荡薄膜各层厚度对应关系建立方法，对于具有双声学反射镜面FBAR，给出应用的要求频率，既定各层材料的厚度，而已知各振荡薄膜层材料的厚度，工作频率也是确定的。本发明通过对FBAR的谐振频率和振荡薄膜各层材料的厚度对应关系建立，使两者可进行相互推导预测。在FBAR的设计中，对确定的频率，而对各振荡层薄膜厚度进行预测，以及，对确定的各振荡层薄膜厚度，而对谐振频率进行预测，提供一种简单的，快速有效的方法，能够加快研发和生产进度。
申请人：河源市众拓光电科技有限公司
地址：517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路众拓光电
国籍：CN
代理机构：广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
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