专利名称：一种多晶硅分解炉专利类型：发明专利
发明人：刘明亮,刘新安,柴新刚申请号：CN201010123333.5申请日：20100311公开号：CN101830467A公开日：20100915
摘要：本发明公开了一种多晶硅分解炉，包括底盘和钟罩式双层炉体，底盘上均匀设置有十二个电极单元，每个电极单元的中心设置有纵向贯穿底盘的硅烷气体进气管，硅烷气体进气管的第一端口为气体进口，硅烷气体进气管的第二端口与钟罩式双层炉体相连通，每个电极单元包括按正方形排列的四个电极，电极纵向贯穿设置于底盘上，电极的第一端位于底盘的下方，电极的第二端位于钟罩式双层炉体内，每个电极单元中以两个电极为一组，并在该组的两个电极的第二端之间连接有一个硅芯，这种结构的分解炉大大提高了多晶硅的生产产量，扩大了生产规模，且有效降低了能耗，同时保证了生产得到的多晶硅产品的质量。
申请人：化学工业第二设计院宁波工程有限公司
地址：浙江省宁波市国家高新区研发园扬帆路999弄1号
国籍：CN
代理机构：宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)
代理人：程晓明
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